623 Serie, Sistema de Suministro

El 623 es un sistema de suministro de gas de flujo ultra alto para gases de pureza láser. Típicamente, estos gases se suministran desde sistemas de suministro criogénico de baja presión (menos de 600 PSIG / 42 BAR). El 623 está diseñado para instalación directa en el vaporizador externo. El diseño de asiento de vástago equilibrado cargado con cúpula permite una capacidad de flujo total que puede ser necesaria para la asistencia o el procesamiento de gases y asegura un flujo y presión de suministro constante independientemente de las fluctuaciones de presión de entrada de la fuente de suministro.